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愛發科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等），排出非活性氣體行業對泵的腐蝕性很大，大多數真空泵都是因為腐蝕后轉數慢，影響到生產效率，需要專業的廠家維修，東莞誠合真空承接愛發科NRL180A干式螺桿真空泵維修。

 針對真空泵腐蝕的修復方法：

徹底清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業的安裝方式完工。

 愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

 愛發科真空泵NRL180A特點：

 低噪音、低振動、超強的耐腐蝕性。

 標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

 隨泵配送選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

 適用于行業：

 活性氣體（CVD/刻蝕等）

 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

 用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）

 冷凍干燥等水蒸氣排氣。

愛發科干泵產品特性/Product characteristics

.LS系列：

同時具有高速排氣和低消耗電力特點的干泵。有4個機種可供選擇，根據設備的大小、使用條件等可選擇條件適合的排氣量干泵。.CR系列：

CR系列VerB為取得國際標準的空冷式工具型干泵。由于排氣室中不使用油，轉子和圓筒為非接觸運轉，可長時間穩定運轉。

GR系列是基于擁有大量實績和信賴性的LR/HR系列，面向一般產業設計的構造較為簡單的干泵。

·LR/HR/UR系列（東莞誠合真空設備提供愛發科真空泵維修ULVAC愛發科干泵維修，各種真空解決方案）

LR/HR/UR系列采用獨自開發的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了在CVD、刻蝕等的硬件工藝的高耐久性。在產線工藝上，和ECO-SHOCK一起使用，可實現降低大80%的消耗電力。此外，高維修性能和低噪音，可對應全機種CE(可選項）?？蛇M一步了解ECO-SHOCK詳細情況。

·干泵節能適配器ECO-SHOCK ES10（東莞誠合真空設備提供愛發科真空泵維修ULVAC愛發科干泵羅茨泵維修，各種真空解決方案）

ECO-SHOCK適配器配合選擇使用的干泵，可實現大幅度節省電力能源。

·干泵節能適配器ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK是一種配合干泵使用可實現大幅降低消耗電能的適配器。

ES4A需要在裝載室頻繁取出放入的情況下，或者像渦輪分子泵那樣達到壓力需要長時間運轉的前級干泵的電能削減是合適的。