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        真空泵抽氣分為哪幾個階段

        發布時間:2021-04-06 09:51:59  瀏覽次數:456

          真空泵抽氣分為哪幾個階段?真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外,主要是在吸氣過程中,吸氣腔體積增大,真空度降低,將容器內氣體吸入泵腔,在排氣過程中體積變小,壓強增大,最終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

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          按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。真空泵抽氣分為三個階段。任何真空系統都希望盡量縮短抽氣的時間,這關系到提高效率和降低能耗,但并不是所有的真空應用都具有縮短抽氣時間的條件??梢园巡煌恼婵諔梅譃閮纱箢悾阂活愂遣桓膽]系統內的放氣量,而只有真空度的要求;另一類是要求真空室內充沛的放氣,即放氣率要降到某一臨界值。

          這兩類不同的應用對泵配置的要求是不一樣的對于前一類應用,如真空度要求在0.5pa以上,只要時間常數足夠的小,便可晝量縮短抽氣的時間。但如真空度要求在0.5Pa以下,就必需改慮放氣對壓力變化的影響。放氣量隨時間的變化緩慢。特別是無烘烤的情況下。要在預定較短的時間內達到較高的真空度,就必需以較大的抽速抽除較大的放氣量。也就是說如放氣量為Q泵的有效抽速為S0則可達到平衡壓力P=Q/S0如平衡壓力確定,則達到時間越短,要求泵的有效抽速就越大。

          蒸發鍍膜就是典型的這類的應用,由于蒸鍍的速度快,時間短,所以不考慮放氣量的影響(即活性氣體的影響)但蒸發粒子的能量低,要求絕大部分粒子無碰撞地沉積到工件上,以保證結合力及減少散射,這就要求真空室內的平均自由程不小于蒸發源到工件的距離,與此相應的壓力約在110-2Pa這便是蒸發鍍膜對真空度的要求。如何在盡量短的時間內達到這一壓力,就對泵的有效抽速提出了要求,原則是時間越短,由于放氣量越大,有效抽速就要求越大。所以蒸發鍍膜一般配置抽速強大的油擴散泵機組,功率有數十千瓦,幾分鐘至十幾分鐘內便可達到工作真空度,但該系統對工件造成的油蒸汽污染是難以防止的特別是塑料金屬化膜層易發黃。

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