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        愛德華Edwards真空泵維修
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        產品名稱:愛德華EPX180L真空泵維修愛德華真空泵維修
        產品描述:東莞誠合真空設備有限公司長期專業于真空泵維修保養服務,始終秉承專業務實的職業態度,擁有一支技術過硬的維修團隊,完善的服務體系,為客戶提供更快,更好的真空泵維修保養服務。
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        東莞誠合真提供愛德華EPX180L真空泵系列維修銷售,愛德華半導體干泵EPX180L/LE/N系列維修,愛德華半導體干泵EPX180L系列現貨供應,愛德華半導體干泵EPX180L系列維修配件哪里買,

        愛德華EPX180高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于7×10-5Torr的極限壓力。

        模塊化EPX180基于備受贊譽、大獲成功的IPX系列,可提供卓越的性能,與IPX相比,包裝重量輕了20%、體積小了30%且功率降低了40%。

        EPX系列主要特性和優勢

        1.占地面積小且重量輕一作為可用的小工具上泵之一,EPX顯著節省了占地面積。鋁制構造使其重量輕巧,增加了安裝選項。EPX可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程使用。

        2.受專利保護的獨特泵機構-EPX可以從大氣壓抽空到UHV級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。

        3.超清潔機構-傳統的高真空軸承使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX泵沒有高真空軸承油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源

        4.非??煽?EPX具有大約13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。

        EPX系列支持清潔和輕型半導體加工應用,如灰化/剝離和注入端點站應用。

        EPX系列以極輕、極小的封裝提供工具上泵送功能,可實現異常清潔的真空。EPX泵采用已獲專利的獨特單軸再生Holweck?分級機構,能夠從大氣壓抽空到小于7×10-7Torr的極限壓力。

        EPX泵能夠以模塊化組件提供增強的性能,既可集成到制程工具,又可以遠程安裝。此外,通過集成的MicroTIM電子模塊還可以與制程工具輕松建立通信連接。

        EPX180L/EPX180LE技術參數:

        峰值速度                                   170m3h-1

                                                          105ft3min-1

                                                           2835 Imin-1

        極限真空                                    <1×104mbar

                                                           <7.5x10-5Tor

                                                           <1×10-2Pa

        預熱時間(達到標稱性能)        30分鐘

        入口法蘭                                     ISO63

        出口法蘭                                     NW25

        噪音                                            <59 dB(A)

        水接頭                                         3/8in快速

        小冷卻水流速                            2 lm-1

        冷卻水溫度                                 15-35°

        電源供給                                      200/208V,50/60Hz三相

        極限功率                                    1.4kW

        電機額定功率                             3.0kW

        TIM                                            C3

        重量                                           43.5kg

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        東莞誠合真空設備有限公司主要從事真空泵行業,銷售維修進真空泵,真空泵系統量身訂制,單級旋片油式真空泵,無油活塞式真空泵,無油隔膜泵,干式羅茨真空泵,干式螺桿泵,干式爪式真空泵,渦旋真空泵,真空泵維修/保養;德國BUSCH普旭、Becker貝克、Rietschle偉力/里其樂、Leybold萊寶、pfeiffer普發,英國Edwards愛德華、法國阿爾卡特ALCATEL,日本Orion好利旺,愛發科ULVAC,卡西雅瑪KASHIYAMA,荏原Ebara,美國安捷倫Agilent,泰悉爾Tuthill,壽力Sullair,臺灣漢鐘HANBELL,沈科儀SKY等品牌;供應真空泵配件,真空泵專用油,真空泵油霧分離器,真空泵空氣過濾器,油格,風扇,真空泵葉片,旋片,碳精片服務熱線15322997239。


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